Substrat de oblea de quars
Los substrats d'obleas de quars son de obleas principalament fachas de quars de nauta-puretat (SiO2), largament utilizadas dins los semiconductors, l'optoelectronica, los sistèmas micro-electromecanics (MEMS), los dispositius optics, e d'autres camps.
Descripcion
Proprietats del material
- Nauta Puretat:Tipicament fabricat a partir de quars sintetic (per exemple, silice fusionada), amb una puretat extrèmament nauta (Mai granda que o egala a 99,99%) e d'impuretats minimalas per evitar d'afectar la performància del dispositiu.
- Estabilitat termica:Coeficient bas d'expansion termica (≈0,55×10−6/ gra ) e nauta-resisténcia a la temperatura (punt d'adociment ~1600 gra ), adaptat a de processus de nauta-temperatura.
- Rendiment optic:Ample gama de transmission (UV a IR), amb una transmission UV excepcionala, ideal per fotomascas, lentillas, etc.
- Inèrcia quimica:Resistent als acids i alcalis (levat l'acid fluoridric), apte pels processus de gravatge umid.
- Isolacion electrica:High resistivity (>1016 Ω·cm), ideal per de substrats isolants o de dispositius de nauta-frequéncia.
Aplicacions
Fabricacion de semiconductors
- Substrats de fotomasca
- Components de litografia EUV
- Portaires de tractament de las obleas
Fotonica & Optoelectrònica
- Substrats de guida d'onda optica
- Montatge de diòde laser
- Components de calcul quantic
Aplicacions especializadas
- Bases de ressonador MEMS
- Optica del telescòpi espacial
- Sistèmas laser d'energia nauta-
Procès de fabricacion
- Sintèsi de matèrias primièras:Produch via deposicion de vapor (per exemple, oxidacion de SiCl₄) o purificacion de quars natural.
- Fosion e formacion:Fosion a nauta-temperatura seguida de refregiment en lingots o de tiratge dirècte dins de varas.
- Talha:Talhada en obleas finas en utilizant de sègas de fial de diamant o de talh laser.
- Moladura e poliment:Lo poliment mecanic quimic (CMP) atenh una suavitat a nivèl de nanomètre-.
- Neteja e inspeccion:Supression de particulas e de contaminants metallics, seguit de tèst de defaut e de paramètres.
Proprietats
|
Proprietats fisicas |
Valors |
|
Puretat |
＞99.99% |
|
Densitat |
2,2g/cm3 |
|
Transparéncia |
＞90% |
|
Duretat de Mohs |
5.5--6.5 |
|
Punt de deformacion |
1280 gras |
|
Punt d'adociment |
1750 gras |
|
Punt de recobriment |
1250 gras |
|
Calor especifica (20 - 350 gra ) |
670J/kg. gra |
|
Conductivitat termica (20 grases ) |
1,4W/m. gra |
|
Conductivitat termica (p/mk,1000 gras) |
1.0-1.2 |
|
Indici de refraccion |
1.4585 |
|
Coeficient d'expansion termica |
5.510 -7cm/cm. gra |
|
Temperatura de trabalh caud - |
1750--2050 gra |
|
Temperatura de servici a cort tèrme - |
1450 gras |
|
Temperatura de servici a long tèrme - |
1100 gras |
|
Proprietats quimicas |
Valors |
|
Resistent a l'acid |
Acid fòrt (levat HF), Alcali fòrt, solucion organica |
|
Temperaturas nautas Resistent a la corrosion |
Excellent |
|
Contengut d'impuretat de metal |
＜5 ppm |
|
Proprietats electricas |
Valors |
|
Resistivitat |
7107Ω.cm |
|
Resisténcia a l'isolacion |
250~400Kv/cm |
|
Constanta dielectrica |
3.7~3.9 |
|
Coeficient d'absorpcion dielectric |
＜410-4 |
|
Coeficient de pèrda dielectric |
＜110-4 |
|
Proprietats mecanicas |
Valors |
|
Resisténcia a la Compression |
1100MPa |
|
Resisténcia a la flexion |
67MPa |
|
Resisténcia a la traccion |
48MPa |
|
Rapòrt de Poisson |
0.14~0.17 |
|
Modul de Young |
72000MPa |
|
Modul de cisalhament |
31000MPa |
FAQ
P1: Quina es la talha maximala dels substrats d'oblea de quars disponible?
R: Produccion estandard fins a 300mm de diamètre, amb de prototipes de 450mm disponibles per R&D.
P2: Podètz provesir de perfils d'espessor personalizats?
R: Òc - podèm produire:
- Obleas cuneadas (per aplicacions laser)
- Dessenhs conics de precision
- Mesa-superfícias estructuradas
Q3: Quin protocòl de neteja recomandatz?
R: Procès de neteja RCA estandard:
1. Eliminacion organica (H2SO₄:H2O2)
2. Neteja iònica (HCl:H2O2)
3. HF-darrièr per la superfícia idrofila
Tags cauds: substrat d'oblea de quars, China substrat de oblea de quars fabricants, provesidors, fàbrica
Enviar l'Enquèsta
Vos podètz tanben Com .
